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光切法显微镜表面显微轮廓的摄像
光切法显微镜
是采用光切法测量被测表面的微观平面幅度 ,其工作原理,如下所示。
狭缝被光源发出的光线照射后,通过物镜发出一束光带以倾斜45°方向照射在被测量的表面。具有齿状的不平表面,被光亮的具有平直边缘的狭缝像的亮带照射后,表面的波峰在S点产生反射
为了能在
光切法显微镜
上对显微轮廓进行摄像,仪器上可安装数码摄像装置(需另购适配镜和数码相机)。摄像时,根据上述(二)的方法,在目镜中得出清晰的像后,转动手轮(21)到摄像部位,然后参照数码相机的使用说明书进行操作、调焦,直至数码相机视屏中图像轮廓清晰,线条分明。此时h =
式中:C—相片上平面度成像的高度
(可直接从相片上测量出来);
M—系统的总放大倍数
(通过仪器对标准刻度尺摄像,在相片上直接测量标准刻度成像,以测得成像数值与标准刻度尺选择段刻度数之比,即为放大倍数M)。
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